國內DRAM大廠茂德科技,正在中科興建旗下第四座十二吋晶圓廠
,且新廠所需氣體廠的建置招標案,在三福氣體、亞東工業氣體等兩
大業者競標之下,最後,由三福勝出。國內最大氣體廠的三福總經理
簡偉隆昨日證實,將投資四億元,以駐廠生產(InHouse)方
式,在茂德第四座晶圓廠區,興建一座氣體廠,預定二○○八年第二
季以後,即可就近供應茂德新廠所需的氮、氧、氫及氬等特殊氣體。

此外,由力晶半導體與爾必達合資的瑞晶電子,已承受原力晶在中科
后里園區十二吋晶圓廠用地,目前瑞晶正加緊興建上述的晶圓廠。為
就近供氣,三福已搶下瑞晶的氣體廠建置案,並擬投資十二億元,在
中科后里園區興建第一座的氣體廠。

至於中科后里園區未來氣體市場的潛在大客戶,包括友達中科七星農
場的次世代面板廠、瑞晶電子另外四座十二吋晶圓廠、茂德科技兩座
十二吋晶圓廠,及華映的第六代面板廠與第七.五代面板廠。為搶攻
此商機,國內三福、亞東及聯華三大氣體廠已開始布局。其中已是友
達與康寧中科廠的主力氣體供應商的亞東,積極布局友達光電中科七
星農場次世代面板廠所需氣體廠建置案,讓氣體廠最近在中科后里園
區的市場卡位戰煙硝味更濃。

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